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世聯(lián)博研(北京)科技有限公司 主營(yíng):Flexcell細(xì)胞力學(xué)和regenhu細(xì)胞3D生物打印機(jī)銷售技術(shù)服務(wù): 美國(guó)Flexcell品牌FX-5000T細(xì)胞牽張應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),F(xiàn)X-5K細(xì)胞顯微牽張應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),Tissue Train三維細(xì)胞組織培養(yǎng)與測(cè)試系統(tǒng),F(xiàn)X-5000C三維細(xì)胞組織壓應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),STR-4000細(xì)胞流體剪切應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),德國(guó)cellastix品牌Optical Stretcher高通量單細(xì)胞牽引應(yīng)變與分析系統(tǒng) Regenhu品牌3D discovery細(xì)胞友好型3D生物打印機(jī),piuma細(xì)胞納米壓痕測(cè)試分析、aresis多點(diǎn)力學(xué)測(cè)試光鑷,MagneTherm細(xì)胞腫瘤電磁熱療測(cè)試分析系統(tǒng)
服務(wù)電話: 010-67529703
主營(yíng)產(chǎn)品: Flexcell細(xì)胞力學(xué)和regenhu細(xì)胞3D生物打印機(jī)銷售技術(shù)服務(wù): 美國(guó)Flexcell品牌FX-5000T細(xì)胞牽張應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),F(xiàn)X-5K細(xì)胞顯微牽張應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),Tissue Train三維細(xì)胞組織培養(yǎng)與測(cè)試系統(tǒng),F(xiàn)X-5000C三維細(xì)胞組織壓應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),STR-4000細(xì)胞流體剪切應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),德國(guó)cellastix品牌Optical Stretcher高通量單細(xì)胞牽引應(yīng)變與分析系統(tǒng) Regenhu品牌3D discovery細(xì)胞友好型3D生物打印機(jī),piuma細(xì)胞納米壓痕測(cè)試分析、aresis多點(diǎn)力學(xué)測(cè)試光鑷,MagneTherm細(xì)胞腫瘤電磁熱療測(cè)試分析系統(tǒng)
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2“ RF等離子磁控濺射鍍膜機(jī),用于非導(dǎo)電薄膜

  • 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:2“ RF等離子磁控濺射鍍膜機(jī),用于非導(dǎo)電薄膜
  • 產(chǎn)品型號(hào):-VTC-2RF
  • 產(chǎn)品展商:MTI
  • 產(chǎn)品文檔:無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹

VTC-2RF是緊湊的2英寸單頭RF等離子磁控濺射系統(tǒng),可涂覆非金屬(主要是氧化物)薄膜。它將所有組件集成到一個(gè)單層的立柜中,包括RF電源,石英真空室,真空泵,循環(huán)水冷卻器和膜厚監(jiān)控器等。它是一種出色且具有成本效益的涂布機(jī),用于在研發(fā)中涂布非導(dǎo)電或氧化物材料的薄膜。

產(chǎn)品描述

VTC-2RF是緊湊的2英寸單頭RF等離子磁控濺射系統(tǒng),可涂覆非金屬(主要是氧化物)薄膜。它將所有組件集成到一個(gè)單層的立柜中,包括RF電源,石英真空室,真空泵,循環(huán)水冷卻器和膜厚監(jiān)控器等。它是一種出色且具有成本效益的涂布機(jī),用于在研發(fā)中涂布非導(dǎo)電或氧化物材料的薄膜。 

規(guī)格書(shū)
輸入功率
  • 220 VAC,50 / 60Hz,單相
  • 800 W(包括泵)
  • 如果電壓為  110 VAC,則需要1000 W的變壓器,請(qǐng)單擊左圖訂購(gòu)
源功率

  • 一個(gè)13.5兆赫,300瓦的RF  發(fā)生器,提供自動(dòng)匹配功能內(nèi)置于機(jī)殼和連接到2"濺射頭 (點(diǎn)擊圖片向左看詳細(xì)規(guī)格)
  • 可選:直流濺射電源可用于涂覆金屬材料 
  •  射頻電源                直流電源可選

磁控濺射頭


  • 一個(gè)2"  與水冷卻夾套磁控濺射頭被包括并且經(jīng)由快速夾具插入到石英腔(點(diǎn)擊產(chǎn)品圖。 左1看詳細(xì)規(guī)格)
  • 法蘭上裝有一個(gè)百葉窗(手動(dòng)操作)
  • 需要一臺(tái)16升/分鐘的數(shù)控循環(huán)水冷卻器來(lái)冷卻磁控濺射頭(如果沒(méi)有,請(qǐng)單擊右圖3進(jìn)行  訂購(gòu))
  • 1英寸濺射頭是可更換的,并且可選,但要額外付費(fèi)(請(qǐng)單擊右圖2進(jìn)行訂購(gòu))
  • 可以替換148厘米的射頻電纜,但需要支付額外費(fèi)用(點(diǎn)擊右圖1進(jìn)行訂購(gòu))
                    

濺射靶

  • 目標(biāo)尺寸要求:2英寸直徑x 1/4英寸*大厚度
  • 演示測(cè)試包括一個(gè)銅靶(直徑2英寸x 3毫米t)。
  • Al2O3陶瓷靶材   推薦涂覆方法
  • 可根據(jù)要求提供可選的2英寸濺射靶(帶背板),但需額外付費(fèi)。

真空室

  • 真空室:外徑160毫米x內(nèi)徑150毫米x高度250毫米。由高純度石英制成
  • 密封法蘭:直徑165 mm。鋁制成,帶有高溫硅膠O形圈
  • 隨附的不銹鋼網(wǎng)罩可100%屏蔽來(lái)自腔室的RF輻射
  • 真空度:帶有雙級(jí)機(jī)械泵的1.0E-2 Torr和帶有可選渦輪泵的1.0E-5 Torr

樣品架

  • 樣品架可旋轉(zhuǎn)且可加熱,由帶不銹鋼蓋的陶瓷加熱器制成
  • 樣品架尺寸:直徑50 mm。*多2“晶圓
  • 旋轉(zhuǎn)速度可調(diào):1-10 rpm,以獲得均勻的涂層
  • 支架溫度可通過(guò)數(shù)字溫度控制器在RT至*大500°C范圍內(nèi)調(diào)節(jié),精度為+/- 1.0  ° C。
  • 根據(jù)要求可提供800-1000oC加熱樣品架。
  • 可選的振動(dòng)樣品架可用于動(dòng)力PVD涂層。(下面的圖片3)
  •   射頻粉末涂料
真空泵站
  • KF25真空端口是內(nèi)置的,用于連接真空泵
  • 需要帶有KF25適配器的真空泵,但不包括在內(nèi)。.  請(qǐng)單擊圖片單獨(dú)訂購(gòu)。
  • 真空度:雙級(jí)機(jī)械泵為   1.0E-2托,渦輪泵為1.0E-5托
               
可選的
  • 精密石英厚度傳感器是可選的(請(qǐng)單擊下面的Pic1進(jìn)行訂購(gòu)),可以將其安裝在腔室內(nèi),以0.10?的精度監(jiān)控涂層厚度。需要筆記本電腦才能顯示厚度
  •              

外形尺寸

   (點(diǎn)擊圖片查看詳情)

凈重

  • 70公斤

保修與合規(guī)

  • 一年有限保修,提供終身支持
  • CE認(rèn)證
  • NRTL認(rèn)證暫時(shí)不可用。

操作指令

                         

應(yīng)用須知

  • 這種緊湊的2英寸RF磁控濺射鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)用于在通常不需要高真空設(shè)置的氧化物單晶襯底上涂覆氧化物薄膜
  • 請(qǐng)使用> 5N純度的Ar氣體進(jìn)行等離子濺射
  • 為了獲得*佳的薄膜與基材的粘合強(qiáng)度,  請(qǐng)  在涂覆前清潔基材表面  
    • 用以下連續(xù)浴進(jìn)行超聲波清洗(單擊Pic#1進(jìn)行訂購(gòu))-(1)丙酮,(2)異丙醇-除去油和油脂。用氮?dú)獯蹈苫?,然后在真空中熱烘烤以除去吸收的水?/span>
    • 表面粗糙化,表面化學(xué)鍵活化或其他污染物去除可能需要等離子清潔(單擊Pic#2進(jìn)行訂購(gòu))
    • 可以使用諸如Cr,Ti,Mo,Ta之類的薄緩沖層(?5 nm)來(lái)提高金屬和合金的附著力
  • 為了獲得*佳性能,非導(dǎo)電靶必須安裝有銅襯板。請(qǐng)參閱以下說(shuō)明視頻(#3)了解目標(biāo)綁定
  • MTI使用鍍膜機(jī)成功地在500°C的 Al 基體上涂覆了ZnO (圖5中的XRD曲線)
  • 請(qǐng)勿在冷水機(jī)中使用自來(lái)水。使用去離子水,蒸餾水或抗腐蝕添加劑作為色漿。
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