Holmarc的紫外線臭氧清潔劑旨在在環(huán)境溫度和增強(qiáng)模式下從樣品表面去除薄薄的污染物層。它基本上是一種使用干法處理的光敏氧化方法。源低壓汞燈產(chǎn)生UVC系列光譜，尤其是184.9和253.7nm的光譜線充當(dāng)臭氧的產(chǎn)生者和an滅者，臭氧也用于激發(fā)有機(jī)分子。總體而言，它具有易于使用的設(shè)置和程序，可在預(yù)清潔后產(chǎn)生*佳效果。無需任何預(yù)清潔，它就能對厚的光刻膠，純碳膜和石英襯底產(chǎn)生*佳效果。
紫外線燈類型 ： 高臭氧紫外線燈 紫外線燈供應(yīng) ： 4000 V，30 mA 電源輸入 ： 230V，50Hz *大基板尺寸 ： 150毫米x 150毫米 持續(xù)時(shí)間 ： 1-99秒/分鐘/小時(shí) 施工 ： 不銹鋼 樣品進(jìn)料 ： 基于幻燈片
氧氣入口
臭氧去除泵
LCD顯示單元
樣品溫度測量功能
蜂鳴器，指示清潔完成
鎖定功能可鎖定進(jìn)樣盤，避免在操作過程中打開
瓦數(shù)：72W（在345 x 250尺寸的腔室中9個(gè)8 W燈管）
**特性
Holmarc的紫外線臭氧清潔器配有非常合適的鋁制腔室，該腔室封閉并阻擋了來自汞源的有害UVC輻射。靠近紅色標(biāo)志緊急停止開關(guān)的沖洗按鈕借助鼓風(fēng)機(jī)和附加軟管幫助從托盤室中排出所有殘留的臭氧并排出氣體。為了避免金屬樣品表面變暗的影響，我們建議在紫外線臭氧清潔劑下使用較短的時(shí)間。
應(yīng)用領(lǐng)域
在薄膜沉積之前進(jìn)行基板清潔，制造用于時(shí)鐘和頻率控制的需要超清潔表面的石英晶體諧振器，在超高真空下以非零力對金屬進(jìn)xing氣密密封，制造護(hù)目鏡，清潔鏡片，鏡子，太陽能電池板，拆卸光刻膠，光掩模，硅片等
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