Holmarc設(shè)計了具有高精度組件的多功能4“基板UV激光寫入器,專門設(shè)計用于為用戶提供*大的自由度,使其可以在光敏層中創(chuàng)建微結(jié)構(gòu)。
系統(tǒng)支持高達4096級的灰度等級,支持3D光學(xué)結(jié)構(gòu),表面結(jié)構(gòu)以及蒙版項目,使該系統(tǒng)成為用于研發(fā)的理想Litho工具。