Holmarc的旋涂機(jī)，型號(hào)：HO-TH-05是專用的臺(tái)式系統(tǒng)，用于在實(shí)驗(yàn)室中以良好控制的旋涂工藝參數(shù)旋涂小基材。高速和持續(xù)時(shí)間范圍允許用戶獲得所需的薄膜厚度或厚度。旋轉(zhuǎn)頭執(zhí)行器是一種精密的直流伺服電機(jī)，需要較少的維護(hù)，并具有**的速度和加速度控制。由無(wú)油真空泵驅(qū)動(dòng)的真空吸盤(pán)將基材固定在旋轉(zhuǎn)頭上。
該設(shè)備具有用戶友好的前面板，該面板具有用于編程旋轉(zhuǎn)過(guò)程的鍵盤(pán)和LCD。旋轉(zhuǎn)持續(xù)時(shí)間，旋轉(zhuǎn)速度，加速度等都是可通過(guò)前面板進(jìn)行編程的參數(shù)。由于程序存儲(chǔ)器是非易失性的，因此在斷電時(shí)不會(huì)丟失所記錄的參數(shù)。該模型配備有9個(gè)預(yù)設(shè)的可編輯程序的存儲(chǔ)器，每個(gè)程序有9個(gè)步驟。
旋涂在有機(jī)電子，納米技術(shù)，半導(dǎo)體工業(yè)和其他工業(yè)領(lǐng)域無(wú)處不在。
旋涂廣泛用于使用溶膠-凝膠前驅(qū)體在玻璃或單晶基板上的功能性氧化物層的微細(xì)加工，可用于制造具有納米級(jí)厚度的均勻薄膜。它廣泛用于光刻中，以沉積約1微米厚的光刻膠層。