Fizeau干涉儀是*簡(jiǎn)單，用途*廣泛的干涉儀之一，在平面和球形表面的常規(guī)測(cè)量中很受歡迎。它用于測(cè)量光學(xué)組件，例如平板，棱鏡，透鏡，或精密金屬零件，例如軸承，密封面或拋光陶瓷。可以使用靜態(tài)條紋分析軟件進(jìn)行測(cè)量。干涉儀基本上帶有高光學(xué)質(zhì)量（λ/ 20）參考平面。測(cè)試表面的反射會(huì)干擾參考平面產(chǎn)生的條紋的反射。條紋的形狀和質(zhì)量取決于測(cè)試平板的表面質(zhì)量。使用高分辨率CCD相機(jī)對(duì)條紋進(jìn)行數(shù)字化處理。
光學(xué)設(shè)置
空間濾光片組件和正消色差透鏡用于擴(kuò)展和準(zhǔn)直He-Ne激光。在準(zhǔn)直透鏡之后，固定參考平面。光線從參考平面反射回去。立方體分束器放置在擴(kuò)束器附近，該反射鏡將反射的光反射到變焦鏡頭和CCD。該反射的一部分落在用于對(duì)準(zhǔn)模式的照相機(jī)1上。來(lái)自測(cè)試樣品的反射光也會(huì)回溯相同的路徑并產(chǎn)生干擾。